日本昭和真空鍍膜機(jī)（23寸射頻源SGC-S1550i型）的核心配置與技術(shù)細(xì)節(jié)綜合說明：

‌一、核心配置與性能參數(shù)‌

‌真空系統(tǒng)‌

‌真空室‌：尺寸兼容Φ1550mm規(guī)格（不銹鋼材質(zhì)），工件架輻照面積≥Φ1150mm，極限真空≤7.0×10??Pa，搭配機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+低溫冷凝器（POLYCOLD），15分鐘內(nèi)可抽至工作真空（大氣壓→5×10?³Pa）。

‌污染控制‌：特殊設(shè)計(jì)降低微塵污染，支持連續(xù)20批次IR截止濾光片鍍膜無需清掃校正. 

‌鍍膜組件‌

‌射頻離子源‌：23寸高功率RF離子源，離子束聚焦精準(zhǔn)，增強(qiáng)薄膜致密性與附著力，適用于樹脂基片至多層濾波片的高品質(zhì)鍍膜。

‌蒸發(fā)源‌：配置電子槍（PLASMATECH 10KW型號(hào)）或熱阻蒸裝置，支持AR/AF/HR膜及100層以上介質(zhì)膜制備。

‌監(jiān)控系統(tǒng)‌

‌膜厚控制‌：光纖式光學(xué)膜厚儀+80點(diǎn)恒溫監(jiān)控玻璃，結(jié)合晶控系統(tǒng)（如美國(guó)英?？?/span>SQM-160），實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度膜厚重復(fù)性。

‌自動(dòng)化‌：全自動(dòng)一鍵操作，參數(shù)記憶存儲(chǔ)功能，降低人工干預(yù)15。

‌二、技術(shù)優(yōu)勢(shì)‌

‌穩(wěn)定性‌：抗污染技術(shù)與真空系統(tǒng)協(xié)同，保障批量連續(xù)生產(chǎn)（如20批次IR濾光片零維護(hù)）。

‌精度控制‌：光纖監(jiān)控儀溫控設(shè)計(jì)，確保膜層特性高度穩(wěn)定，均勻性誤差≤±1%。

‌兼容性‌：適配玻璃、樹脂、金屬基材，覆蓋AR膜、AF膜、DBR膜（LED專用）等復(fù)雜膜系。

‌三、應(yīng)用場(chǎng)景‌

‌光學(xué)器件‌：IR截止濾光片、分色濾光片、高反射膜（HR膜）。

‌顯示與電子‌：手機(jī)蓋板AF膜、車載鏡頭鍍膜、觸摸屏防污膜（AS膜）。

‌特殊領(lǐng)域‌：LED多層光學(xué)DBR膜、光纖介質(zhì)膜。

‌四、設(shè)備狀態(tài)與服務(wù)‌

‌2015-2017年產(chǎn)在產(chǎn)設(shè)備轉(zhuǎn)讓

‌服務(wù)支持‌：包安裝調(diào)試、工藝培訓(xùn)（如AF膜量產(chǎn)技術(shù)）及3個(gè)月保修。

‌五、能耗與物理參數(shù)‌

‌電源需求‌：三相200V/50-60Hz，功率80-120KVA212。

‌冷卻系統(tǒng)‌：水流量≥220L/min，空氣壓力0.5-0.7MPa12。

‌設(shè)備尺寸‌：整機(jī)重約11-12噸，需凈化車間穿墻安裝

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